证券之星消息,根据天眼查APP数据显示万润股份(002643)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种用于ArF光刻胶聚合物及制备方法和光刻胶组合物”,专利申请号为CN202511483468.5,授权日为2026年3月3日。
专利摘要:本发明涉及光刻胶技术领域,具体涉及一种用于ArF光刻胶聚合物及制备方法和光刻胶组合物,所述的聚合物具有如下通式:;x、y、z、m分别为聚合物重复单元的质量分数,x选自20?30%,y选自10?15%,z选自25?44%、m选自15?30%,所述聚合物的分子量选自2000?20000Da,分子量分散系数选自1.0?3.0。所述的制备方法为:将单体A、单体B、单体C、单体D、自由基引发剂混合后溶解在电子级反应溶剂中制备混合溶液,通过控制反应温度和反应时间制备出聚合物,反应完毕,将反应体系滴加至不良溶剂中造粒得到所述的聚合物。用该聚合物配制的光刻胶组合物具有分辨率高、线宽均匀性好、耐抗蚀性好。
今年以来万润股份新获得专利授权3个,较去年同期减少了25%。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了2.06亿元,同比减3.13%。
通过天眼查大数据分析,中节能万润股份有限公司共对外投资了9家企业,参与招投标项目722次;财产线索方面有商标信息80条,专利信息548条;此外企业还拥有行政许可106个。
数据来源:天眼查APP
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