微导纳米获得实用新型专利授权：“一种可调注气挡板及沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种可调注气挡板及沉积设备”，专利申请号为CN202520577385.1，授权日为2026年2月17日。

专利摘要：本实用新型公开了一种可调注气挡板及沉积设备，该可调注气挡板主要包括阻挡板和堵孔件，阻挡板开设通气孔以供气流通过并进入反应腔，堵孔件设置于阻挡板远离反应腔的一侧，并能够在垂直于阻挡板的方向进行调节；堵孔件在沿垂直于阻挡板的方向调节至第一位置时，对阻挡板上的至少部分通气孔实现封堵以阻断气流通过路径。本实用新型通过增设堵孔件，以能够对阻挡板上的通气孔状态进行调节，进而实现对进入反应腔内气流的流场，而在反应腔内成品膜出现不均匀沉积情况时对气体流场进行封堵调节，而提升沉积均匀性，以提升成品膜的良品率。

今年以来微导纳米新获得专利授权16个，较去年同期增加了6.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目58次；财产线索方面有商标信息132条，专利信息595条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可69个。

数据来源：天眼查APP

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