*ST云创获得发明专利授权：“一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示*ST云创（920305）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构”，专利申请号为CN202211619304.7，授权日为2026年2月24日。

专利摘要：本发明涉及一种光刻机改变光束直径的膜片移动机构，包括支撑板，支撑板内部开设有凹槽，凹槽内部滑动设置有第一滑块，且第一滑块末端固定设置有角度调节箱，且角度调节箱内部设置有角度调节结构，角度调节结构用于调节角度偏移大小，且角度调节箱末端活动设置有横板，第一滑块底部固定设置有连接板，连接板末端连接设置有膜片移动机构，膜片移动机构用于对膜片的位置进行移动。本发明，通过设置有膜片移动机构可以对膜片进行移动，减少了膜片单一位置受热造成损害的情况发生，从而减少了后期更换膜片的的此时，减少了后期维护成本，并且由于设置了角度调节结构对膜片的水平角度进行调节，可以应对不同角度雕刻的需求，从而提高了装置的适用性。

今年以来*ST云创新获得专利授权2个。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了1609.91万元，同比减26.68%。

数据来源：天眼查APP

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