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飞凯材料获得发明专利授权:“一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法”

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示飞凯材料(300398)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法”,专利申请号为CN202011065796.0,授权日为2026年1月27日。

专利摘要:本发明涉及光刻胶技术领域,更具体地,本发明涉及一种正型光刻胶组合物及制备方法和光刻胶图形形成方法。本发明提供一种未曝光区膜厚损失小、垂直程度高的矩形形貌,还同时兼具高灵敏度、高对比度和高分辨率的正性抗蚀剂组合物;通过添加少量含有特定取代酚单体的改性酚醛清漆树脂B,和常规酚醛树脂A共同作用,得到的正型光刻胶组合物在高灵敏度的情况下仍可以明显改善光刻胶垂直形貌,使得光刻胶形貌从70°的正梯形,变为80°以上的矩形形貌,使得光刻胶能满足细线宽加工的需求,且发明人发现,加入全氟烷基丙烯酸酯E作为光刻胶添加物可以明显改善光刻胶的未曝光膜厚损失,显著提高了光刻胶的对比度。

今年以来飞凯材料新获得专利授权3个。结合公司2025年中报财务数据,2025上半年公司在研发方面投入了9082.76万元,同比增4.23%。

通过天眼查大数据分析,上海飞凯材料科技股份有限公司共对外投资了44家企业,参与招投标项目32次;财产线索方面有商标信息19条,专利信息174条,著作权信息1条;此外企业还拥有行政许可65个。

数据来源:天眼查APP

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