晶合集成获得实用新型专利授权：“一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台”，专利申请号为CN202520097656.3，授权日为2026年1月9日。

专利摘要：本实用新型提供一种用于晶圆边缘清洗的罩壳结构及清洗机台。该罩壳结构设置于待清洗的晶圆上方，用于遮挡溅射的清洗液。该罩壳结构包括罩壳和气体喷嘴，罩壳上设有对应遮挡晶圆边缘溅射清洗液的溅射遮挡区。气体喷嘴设置于罩壳内，且用于与气源连接向溅射遮挡区喷射气体，以将溅射至溅射遮挡区的清洗液吹落至晶圆以外的区域。通过气体喷嘴向溅射遮挡区喷射保护气体，对溅射到溅射遮挡区的清洗液液珠吹扫，防止清洗液液珠溅射到溅射遮挡区后的二次溅射或反流，避免晶圆表面有效区受到污染。同时避免多种清洗液混合反应造成在溅射遮挡区结晶，减少工程师在对机台腔室进行预防性维护过程中的维护负担和工作量。

今年以来晶合集成新获得专利授权10个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了6.95亿元，同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目636次；财产线索方面有商标信息75条，专利信息1583条，著作权信息9条；此外企业还拥有行政许可22个。

数据来源：天眼查APP

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