富乐德获得发明专利授权：“一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富乐德（301297）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方”，专利申请号为CN202310633952.6，授权日为2025年11月4日。

专利摘要：本发明公开了一种Faceplate部件清洗装置及清洗药水配方，涉及到半导体设备清洗技术领域，包括安装在支撑底座上的纯水罐、药水罐和清洗罐：还包括动力件，用于分别单独将会所述纯水罐和所述药水罐内的药水和纯水注入所述清洗罐中并带动所述清洗罐内的液体进行快速上下往返流动，以实现对清洗部件进行连续冲刷。本装置可对部件进行快速地来回冲刷，大大缩短了来回冲刷间隔时间，使得顽固杂质快速脱落，同时也大大缩短了药水清洗时间，且本动力件可分别对纯水罐内的纯水和药水罐中的药水进行部件的冲刷操作，无需安装多个驱动电机、动力缸以及其相关部件，可减小成本。

今年以来富乐德新获得专利授权2个，较去年同期减少了50%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3387.56万元，同比增19.22%。

通过天眼查大数据分析，安徽富乐德科技发展股份有限公司共对外投资了9家企业，参与招投标项目25次；财产线索方面有商标信息17条，专利信息98条，著作权信息1条；此外企业还拥有行政许可46个。

数据来源：天眼查APP

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