晶合集成获得发明专利授权：“晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶合集成（688249）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备”，专利申请号为CN202511128280.9，授权日为2025年10月31日。

专利摘要：本公开涉及一种晶圆洗边方法及洗边设备、装置、电子设备，涉及半导体技术领域。晶圆洗边方法通过清洗晶圆的边缘的第一区域，检测从每个子区域收集的清洗液，得到多个子区域的清洗液的当前数据信息，当前数据信息包括子区域的清洗液的当前体积信息和清洗液中铜离子的当前浓度信息，根据多个子区域的清洗液的当前数据信息，确定晶圆的洗边均匀性；利用晶圆的洗边过程中各子区域的清洗液的当前数据信息，对各子区域的洗边均匀性进行实时检测，通过多个子区域的清洗液的当前数据信息量化各子区域的洗边效果，无需采用光学法检测，检测过程不会受到晶圆表面质量和光洁度的干扰，降低了检测难度，提高了检测可靠性。

今年以来晶合集成新获得专利授权316个，较去年同期增加了40.44%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了6.95亿元，同比增13.13%。

通过天眼查大数据分析，合肥晶合集成电路股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目631次；财产线索方面有商标信息52条，专利信息1406条，著作权信息7条；此外企业还拥有行政许可21个。

数据来源：天眼查APP

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