长川科技获得发明专利授权：“对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示长川科技（300604）新获得一项发明专利授权，专利名为“对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法”，专利申请号为CN202310581063.X，授权日为2025年10月28日。

专利摘要：本申请涉及半导体检测技术领域，提供了一种对准装置、晶圆检测系统以及晶圆对准方法。该对准装置包括吸附动力源和吸附平台；吸附动力源具有互相独立设置的第一气路和第二气路；吸附平台能够绕第一轴线转动；吸附平台构造有第一吸附区和第二吸附区，第一吸附区与第一气路连通，第二吸附区与第二气路连通；第一吸附区设置有多个，并间隔分设于第二吸附区的外侧。如此，即可提高对晶圆的吸附固定效果，提高吸附稳定性，当吸附平台在外力作用下切换于转动与停止之间时，确保晶圆不会轻易发生偏移，提高晶圆的对准精度，从而提升制造良率。

今年以来长川科技新获得专利授权191个，较去年同期增加了17.18%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.73亿元，同比增18.2%。

通过天眼查大数据分析，杭州长川科技股份有限公司共对外投资了16家企业，参与招投标项目115次；财产线索方面有商标信息25条，专利信息1143条，著作权信息75条；此外企业还拥有行政许可79个。

数据来源：天眼查APP

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