华海清科获得发明专利授权：“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备”，专利申请号为CN202510146840.7，授权日为2025年10月24日。

专利摘要：本发明公开了一种金属膜厚在线测量补偿方法、膜厚传感器和设备，方法包括：抛光过程中，获取膜厚传感器测量金属膜厚的第n次输出量Sn；利用此时的膜厚传感器温度tsn和自身温漂函数，计算传感器温漂补偿量ΔSsn；利用此时的晶圆温度twn、第n?1次测定的膜厚dn?1以及晶圆温度补偿函数，计算晶圆温漂补偿量ΔSwn；计算补偿后的输出量S′n，S′n＝Sn?ΔSsn?ΔSwn；根据传感器输出函数以及所述补偿后的输出量S′n得到第n次测定的膜厚dn。

今年以来华海清科新获得专利授权78个，较去年同期增加了168.97%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目235次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息756条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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