证券之星消息,根据天眼查APP数据显示飞凯材料(300398)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液及其应用”,专利申请号为CN202011053021.1,授权日为2025年10月21日。
专利摘要:本发明公开了一种铜镍金结构的铜种子层蚀刻液,所述蚀刻液包含氧化剂5~50wt%、羧基化合物1~40wt%、螯合剂0.01~15wt%、添加剂0~0.01wt%,以及去离子水。本发明还提供了一种如上所述的铜镍金结构的铜种子层蚀刻液在晶圆蚀刻中的应用,尤其是铜镍金结构的晶圆蚀刻,该蚀刻液对镍、金等金属损伤极小,对铝有很高保护能力,铜镍结合处的侧向腐蚀量低,铜柱的底切量低,在使用期限内蚀刻速率稳定,蚀刻均匀度高。
今年以来飞凯材料新获得专利授权8个,较去年同期减少了33.33%。结合公司2025年中报财务数据,今年上半年公司在研发方面投入了9082.76万元,同比增4.23%。
通过天眼查大数据分析,上海飞凯材料科技股份有限公司共对外投资了43家企业,参与招投标项目31次;财产线索方面有商标信息19条,专利信息167条,著作权信息1条;此外企业还拥有行政许可65个。
数据来源:天眼查APP
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