矽电股份获得发明专利授权：“平台支撑补偿方法和装置、支撑平台、电子设备及介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示矽电股份（301629）新获得一项发明专利授权，专利名为“平台支撑补偿方法和装置、支撑平台、电子设备及介质”，专利申请号为CN202411227503.2，授权日为2025年10月17日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种平台支撑补偿方法和装置、支撑平台、电子设备及介质，属于半导体设备制造领域。该方法应用于支撑平台，平台的第一表面用于放置材料加工元件，第二表面设有固定支撑点和辅助支撑点以支撑平台。方法包括：基于支撑平台构建平台仿真结构；对目标仿真支撑点仿真施加支撑力，得到第一形变值；根据第一形变值和支撑力进行计算，得到第一形变系数；根据第一形变值、第一形变系数和目标仿真支撑点的初始形变值进行计算，得到在平台仿真结构的仿真形变值为零时对目标仿真支撑点施加的目标支撑力；根据目标支撑力和目标仿真位置对平台仿真结构进行支撑补偿。本实施例能够提高对支撑平台进行支撑补偿的准确性，进而提高平台的平整度。

今年以来矽电股份新获得专利授权50个。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2969.45万元，同比减15.32%。

通过天眼查大数据分析，矽电半导体设备（深圳）股份有限公司共对外投资了6家企业，参与招投标项目80次；财产线索方面有商标信息46条，专利信息431条，著作权信息26条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

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