屹唐股份获得发明专利授权：“工件处理装置、工艺设备及工件处理方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示屹唐股份（688729）新获得一项发明专利授权，专利名为“工件处理装置、工艺设备及工件处理方法”，专利申请号为CN202411449679.2，授权日为2025年9月26日。

专利摘要：本公开提供了工件处理装置、工艺设备及工件处理方法，涉及半导体加工领域。工件处理装置，包括：承载件，承载件包括托盘及套筒，套筒连接于托盘背离工件的下表面；套筒具有第一中心孔，第一中心孔具有内螺纹段及非螺纹段，内螺纹段靠近第一中心孔的下端设置；支撑件，支撑件包括底板及衬套，衬套连接于底板的上表面，衬套背离工件处理装置的中轴线的外侧面具有外螺纹段；第一进气管路，第一进气管路流出的气体用于向上托举承载件；第二进气管路及第三进气管路，第二进气管路路流出的气体用于推动承载件沿第一方向转动，第三进气管路路流出的气体用于推动承载件沿第二方向转动，第二方向与第一方向相反。本公开能实现多维运动。

今年以来屹唐股份新获得专利授权12个。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3.67亿元，同比增6.76%。

通过天眼查大数据分析，北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目176次；财产线索方面有商标信息77条，专利信息235条；此外企业还拥有行政许可90个。

数据来源：天眼查APP

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