敏芯股份获得发明专利授权：“一种MEMS结构的形成方法以及MEMS结构”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种MEMS结构的形成方法以及MEMS结构”，专利申请号为CN202510940528.5，授权日为2025年9月23日。

专利摘要：本申请公开了一种MEMS结构的形成方法以及MEMS结构。所述方法包括：提供第一衬底；形成功能层，功能层包括位于第一面的第一牺牲层、位于第一牺牲层表面的第一振膜、位于第一振膜表面的第二牺牲层、位于第二牺牲层表面的背极板和位于第二牺牲层、背极板表面的第三牺牲层；刻蚀第三牺牲层和第二牺牲层，在功能层内形成暴露出第一振膜的凹槽；在凹槽内和位于凹槽周围的部分第三牺牲层表面形成支撑结构；去除部分第二牺牲层和部分第三牺牲层，在功能层内形成暴露出部分第一振膜、背极板和支撑结构的空腔；在支撑结构远离第一衬底一侧形成第二振膜。通过上述技术特征的设置，能够提高对第二振膜支撑的稳定性和可靠性，并简化制作工艺。

今年以来敏芯股份新获得专利授权35个，较去年同期减少了22.22%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3863.03万元，同比减1.52%。

通过天眼查大数据分析，苏州敏芯微电子技术股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目27次；财产线索方面有商标信息10条，专利信息500条，著作权信息5条；此外企业还拥有行政许可16个。

数据来源：天眼查APP

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