晶盛机电获得发明专利授权：“晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示晶盛机电（300316）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质”，专利申请号为CN202510760294.6，授权日为2025年9月19日。

专利摘要：本申请公开了一种晶圆电阻率的检测方法、装置及电子设备和存储介质，该检测方法包括：将待测样片固定在检测平台上，使待测样片能够在检测平台的带动下沿预设方向往复运动；当待测样片移动至采样单元的下方时，控制待测样片沿第一预设方向移动，使采样单元间隔地对待测样片上的采样点进行采样；控制待测样片围绕其轴线转动设定角度，控制待测样片沿第二预设方向相对采样单元移动，使采样单元间隔地对待测样片上的采样点进行采样，第二预设方向与第一预设方向相反；基于采样点的检测电压与空载电压的差值确定采样点的参考电压；将参考电压代入基于预先建立的电阻率计算公式，得到电阻率。该检测方法对晶圆电阻率的检测效率更高，且具有更高精度。

今年以来晶盛机电新获得专利授权94个，较去年同期减少了6.93%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.65亿元，同比减23.93%。

通过天眼查大数据分析，浙江晶盛机电股份有限公司共对外投资了34家企业，参与招投标项目198次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息1085条，著作权信息139条；此外企业还拥有行政许可40个。

数据来源：天眼查APP

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