华海清科获得实用新型专利授权：“抛光头和抛光设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“抛光头和抛光设备”，专利申请号为CN202422645648.6，授权日为2025年9月16日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种抛光头和抛光设备，该抛光头包括：基座；保持环，设置于基座下方；抛光头气膜，设置于基座且置于保持环内侧，用于固持晶圆；保持环气膜，设置于保持环内侧且置于保持环和抛光头气膜之间，保持环气膜加压膨胀时与晶圆的边缘相接触，以对晶圆的边缘施加作用力，作用力在晶圆的边缘形成径向夹紧力和轴向下压力。本申请通过保持环气膜对晶圆的边缘施加径向夹紧力和轴向下压力，该径向夹紧力可夹持晶圆，防止晶圆在抛光过程中移动，减低了滑片的风险；该轴向下压力可在晶圆抛光过程中对晶圆的边缘施加压紧力，可以更精准地控制晶圆边缘的抛光效果，保证了整个晶圆表面的抛光一致性。

今年以来华海清科新获得专利授权66个，较去年同期增加了153.85%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。

通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目231次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息716条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

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