证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种膜厚测量方法和化学机械抛光设备”，专利申请号为CN202110895311.9，授权日为2025年9月12日。
专利摘要：本发明提供了一种膜厚测量方法和化学机械抛光设备，其中，方法包括：获取膜厚测量装置距金属薄膜的距离和金属薄膜的材质；根据所述距离和材质，确定相应的标定曲线，所述标定曲线用于表征膜厚测量装置的输出信号与膜厚之间的映射关系；实时获取所述膜厚测量装置的输出信号；根据所述标定曲线和所述输出信号，得到当前的金属薄膜的膜厚。
今年以来华海清科新获得专利授权64个，较去年同期增加了146.15%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。
通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了10家企业，参与招投标项目231次；财产线索方面有商标信息89条，专利信息716条，著作权信息30条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
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