兴福电子获得发明专利授权：“一种采用FIB制备石英玻璃平面TEM样品的方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示兴福电子（688545）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种采用FIB制备石英玻璃平面TEM样品的方法”，专利申请号为CN202411202740.3，授权日为2025年9月5日。

专利摘要：本发明提供了一种采用FIB制备石英玻璃平面TEM样品的方法，属于半导体制造技术领域。所述的方法包括以下步骤：S1、样品前处理；S2、FIB刻蚀；S3、楔形校正：通过U型切割倾转角的方法，逐步调整离子束的切割角度和强度，减小步骤S2中的楔形试样薄片的楔形程度，制得具有初始观察区域的试样薄片；S4、精细打磨：引入倒切技术，通过操控纳米机械手和钨焊接技术，将观察区域从试样薄片中分离出来，形成独立的TEM样品；S5、样品后处理。本发明通过优化离子束参数和加工步骤、引入改进的倒切技术手段，解决了现有技术中制备样品时产生的非晶层厚、损伤大和效率低的问题，提高了TEM样品的制备效率和质量。

今年以来兴福电子新获得专利授权29个。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了3923.73万元，同比增38.91%。

通过天眼查大数据分析，湖北兴福电子材料股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目163次；财产线索方面有商标信息7条，专利信息400条，著作权信息6条；此外企业还拥有行政许可275个。

数据来源：天眼查APP

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