路维光电获得发明专利授权：“检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示路维光电（688401）新获得一项发明专利授权，专利名为“检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备”，专利申请号为CN202410615602.1，授权日为2025年9月5日。

专利摘要：本申请公开了检测掩膜版图形位置精度的方法、装置及设备，涉及精度检测领域，方法包括：选取图像显示区域的一个初始图形；以初始图形的中心位置作为原点，在图像显示区域中沿垂直于光刻机的曝光方向步进，每隔n个选取间距在图像显示区域中取出一个与初始图形相同的图形，直至完成图像显示区域的步进，获得多个重复的图形，并测量每个重复的图形的中心位置的坐标信息，得到由多个图形的坐标信息构成的第一坐标集；在掩膜版的光刻图档查找出与第一坐标集对应的第二坐标集；由第一坐标集减去第二坐标集的坐标信息，获得每隔n个选取间距的图形的偏差值；由偏差值生成数据分布图，依据数据分布图的数据分布状态，确定掩膜版图形位置精度的检测结果。

今年以来路维光电新获得专利授权2个，较去年同期增加了100%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1801.5万元，同比减9.59%。

通过天眼查大数据分析，深圳市路维光电股份有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目19次；财产线索方面有商标信息3条，专利信息89条，著作权信息9条；此外企业还拥有行政许可20个。

数据来源：天眼查APP

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