微导纳米获得实用新型专利授权：“沉积系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“沉积系统”，专利申请号为CN202422487180.2，授权日为2025年8月29日。

专利摘要：本申请公开了沉积系统。沉积系统包括外壳、支撑座和活动座。支撑座设置于外壳内，支撑座用于支撑载具。活动座设置于外壳，活动座和支撑座相对设置在外壳的两侧，活动座和支撑座之间用于供载具放置，活动座包括安装于外壳的基座和与基座活动连接的抵接座，抵接座设置于外壳内。其中，抵接座用于通过活动选择性与载具抵接，以通过活动座和支撑座将载具封闭，支撑座和活动座的其中一者设置有进气通道，另一者设置有出气通道；进气通道和出气通道用于向载具内通入工艺气体。通过上述方式，本申请能够提高镀膜的均匀性。

今年以来微导纳米新获得专利授权52个，较去年同期增加了48.57%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了1.33亿元，同比增9.88%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息114条，专利信息530条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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