屹唐股份获得发明专利授权：“具有冷却系统的快速热处理系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示屹唐股份（688729）新获得一项发明专利授权，专利名为“具有冷却系统的快速热处理系统”，专利申请号为CN202180003802.6，授权日为2025年8月15日。

专利摘要：本公开提供了用于处理工件的装置、系统和方法。在一个示例中，这种用于进行尖峰退火快速热处理的方法可以包括控制热源开始加热支撑在处理腔室中的工件支撑件上的工件。该方法还可以包括接收指示工件温度的数据。此外，该方法可以包括监测工件相对于温度设定点的温度。此外，该方法可以包括至少部分地基于工件达到温度设定点而控制热源停止加热工件。此外，该方法可以包括至少部分地基于工件达到温度设定点而控制冷却系统开始使冷却气体以约300slm或更大的速率流过工件以减小工件的t50峰宽。

今年以来屹唐股份新获得专利授权9个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.17亿元，同比增17.88%。

通过天眼查大数据分析，北京屹唐半导体科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目175次；财产线索方面有商标信息76条，专利信息231条；此外企业还拥有行政许可89个。

数据来源：天眼查APP

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