光峰科技获得实用新型专利授权：“离子束刻蚀系统以及装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示光峰科技（688007）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“离子束刻蚀系统以及装置”，专利申请号为CN202422410485.3，授权日为2025年8月5日。

专利摘要：本申请公开了一种离子束刻蚀系统以及装置，包括：离子束组件，用于出射多个离子束；载片组件，用于承载刻蚀基底，刻蚀基底用于被多个离子束刻蚀形成倾斜光栅结构，刻蚀基底所在平面与离子束组件的出射面之间的夹角呈设定角度；旋转组件，用于通过带动目标组件绕其对应的第一旋转轴旋转，以控制刻蚀基底上的不同区域在不同时刻被不同的离子束刻蚀，第一旋转轴平行于目标离子束的出射方向，目标组件包括离子束组件以及载片组件中的至少一个。如此，由于旋转过程中投射至刻蚀基底同一区域的离子束的轰击能量发生变化，但离子束的刻蚀方向以及角度不变，可以提升刻蚀形成的倾斜光栅结构的均匀性，并保持倾斜光栅结构的倾斜角度以及倾斜方向不变。

今年以来光峰科技新获得专利授权112个，较去年同期增加了41.77%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.48亿元，同比减11.82%。

通过天眼查大数据分析，深圳光峰科技股份有限公司共对外投资了23家企业，参与招投标项目437次；财产线索方面有商标信息583条，专利信息2290条，著作权信息67条；此外企业还拥有行政许可70个。

数据来源：天眼查APP

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