拓荆科技获得发明专利授权：“用于薄膜沉积设备中绝缘柱升降状态的检测方法及系统”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示拓荆科技（688072）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于薄膜沉积设备中绝缘柱升降状态的检测方法及系统”，专利申请号为CN202210386812.9，授权日为2025年7月15日。

专利摘要：本发明公开了一种用于薄膜沉积设备中绝缘柱升降状态的检测方法及系统，检测方法包括检测绝缘柱上的晶圆的最高处至预设平面之间的竖直高度值，所述预设平面为所述绝缘柱处于正常状态时，绝缘柱的上端端面所在的平面；依据所检测的所述竖直高度值与所述晶圆的厚度阈值范围比较判断：若所述竖直高度值位于所述晶圆的厚度阈值范围内，则判断所述绝缘柱处于正常状态；否则，判断所述绝缘柱处于异常状态，一旦绝缘柱的升降状态存在异常，则可控制机械手臂停止进行取片动作，进而避免机械手臂与晶圆发生碰撞，从降低腔体碎片概率、机械手指撞片损伤的概率，减少设备故障时间以及晶圆异常沉积造成的电弧硬件损伤。

今年以来拓荆科技新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.56亿元，同比增31.26%。

通过天眼查大数据分析，拓荆科技股份有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目98次；财产线索方面有商标信息110条，专利信息702条，著作权信息22条；此外企业还拥有行政许可31个。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。