微导纳米获得实用新型专利授权：“支撑结构、支撑组件以及镀膜设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“支撑结构、支撑组件以及镀膜设备”，专利申请号为CN202422355622.8，授权日为2025年7月8日。

专利摘要：本申请涉及一种支撑结构、支撑组件以及镀膜设备。支撑结构包括支撑本体，支撑本体具有配合面，配合面用于承载石墨舟。支撑本体还具有气道，气道具有进气口及出气口，出气口位于配合面上。支撑结构，其具有能够通入气体的气道，且气道的出气口位于配合面上。如此，从气道的进气口通入的高压气体，能够自配合面上的出气口向外吹出，也就是支撑结构可向外排出气体。一方面，这些高压气体能够在配合面上形成高压区域，能够提高发生剧烈反应所需的电压，缓解或解决高频打弧的问题。另一方面，这些高压气体能够在配合面上形成相对高压的区域并向外吹扫，抑制了该区域CVD反应的发生并在配合面沉积绝缘膜的情况，缓解了支撑结构附近打弧、出粉的问题。

今年以来微导纳米新获得专利授权42个，较去年同期增加了35.48%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目47次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息510条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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