京仪装备获得发明专利授权：“一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示京仪装备（688652）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法”，专利申请号为CN202210908321.6，授权日为2025年7月4日。

专利摘要：本发明提供一种真空吸附机械手吸附力控制设备及方法，涉及半导体制造技术领域，控制设备包括多个光电传感器、主控装置、气体压力控制器和压力调节阀，主控装置用于获取晶圆被吸附或释放时光电传感器的光通量的变化值；将变化值利用正态分析模型进行分析，并将变化值与第一预设值进行比对，得出变化值与第一预设值的偏差值。通过获取晶圆被吸附或释放时光电传感器的光通量的变化值计算得到控制阀调节值，通过气体压力控制器根据控制阀调节值对压力调节阀进行压力调节，以对吸附机构的吸附力进行控制，从而实现自动调节吸附机构的吸附力。由于可以根据不同规格的晶圆自动调节吸附力的大小，从而实现对吸附力的精确控制。

今年以来京仪装备新获得专利授权25个，较去年同期减少了16.67%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了9414.94万元，同比增53.06%。

通过天眼查大数据分析，北京京仪自动化装备技术股份有限公司共对外投资了3家企业，参与招投标项目86次；财产线索方面有商标信息50条，专利信息470条，著作权信息54条；此外企业还拥有行政许可13个。

数据来源：天眼查APP

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