富创精密获得实用新型专利授权：“一种半导体真空门阀颗粒度检测设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示富创精密（688409）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种半导体真空门阀颗粒度检测设备”，专利申请号为CN202422368424.5，授权日为2025年6月27日。

专利摘要：本实用新型涉及半导体真空门阀颗粒度测试技术领域，具体是一种半导体真空门阀颗粒度检测设备，包括真空获得模块、测试腔体、颗粒度检测模块和数据读取与处理模块，真空获得模块与测试腔体连通对测试腔体抽真空，门阀的一端连接有颗粒度检测模块，另一端与测试腔体连接，测试腔体的另一端连接有高纯氮气。该设备使用简单，将真空设备中难以模拟的实际检测方法匹配为可量化的零部件检测方法，通过搭建真空模组，对半导体真空门阀颗粒度进行测试，满足产品洁净度的使用需求，通过数据读取与处理模块读取真空、流量、颗粒度等数据，方便快捷的输出测试结果。极大提高了半导体真空门阀颗粒度测试可靠性，为产品性能指标提供可靠数据和支撑。

今年以来富创精密新获得专利授权26个，较去年同期减少了13.33%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.21亿元，同比增7.47%。

通过天眼查大数据分析，沈阳富创精密设备股份有限公司共对外投资了22家企业，参与招投标项目62次；财产线索方面有商标信息28条，专利信息666条，著作权信息3条；此外企业还拥有行政许可46个。

数据来源：天眼查APP

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