屹唐股份获得发明专利授权：“工艺平台”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示屹唐股份（688729）新获得一项发明专利授权，专利名为“工艺平台”，专利申请号为CN202310833174.5，授权日为2025年6月24日。

专利摘要：本公开提供了一种工艺平台，涉及半导体技术领域，具体包括传输仓、容置仓和多个反应腔室。传输仓内设有第一传输部，第一传输部设有多个抓取机构。容置仓与传输仓连通，容置仓用于装载晶圆。多个反应腔室均与传输仓连通，每个反应腔室中均设有至少一个载片台，载片台的顶面设有可升降地顶针。根据本公开的方案，通过设置多个反应腔室，使工艺平台可以对多个晶圆进行工艺反应，通过设置多个抓取机构，可以提高反应腔室与容置仓之间传输晶圆的效率，使工艺平台可以不间断的进行工艺反应，提高了工艺平台的工艺产能。

今年以来屹唐股份新获得专利授权5个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.17亿元，同比增17.88%。