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安培龙获得发明专利授权:“一种基于外延工艺的具高电阻均匀性压力芯片及压力传感器”

来源:证券之星企业动态 2025-06-25 02:53:43
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示安培龙(301413)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种基于外延工艺的具高电阻均匀性压力芯片及压力传感器”,专利申请号为CN202510422503.6,授权日为2025年6月24日。

专利摘要:本发明公开了一种基于外延工艺的具高电阻均匀性压力芯片,涉及传感器技术领域,包括单晶硅基底层、外延沉积生长的导电层及焊盘层;通过外延生长形成高阻值单晶硅层作为导电层,并采用光刻和刻蚀工艺制备多个电阻条,抑制电阻的阻值偏差,提高电阻均匀性;多个电阻条组成两个电阻组并以双M型对称分布,搭成惠斯通电桥;其中,单组电阻组和内接焊点形成M型结构,能够增加电阻条的电阻路径长度和均匀应力分布,获得高压阻系数和高灵敏度;且双M型对称结构可有效抵消温度变化引起的电阻漂移,进而抑制共模干扰,提高传感器的温度稳定性和抗干扰能力;解决了现有压力芯片因蚀刻厚度不均与掺杂波动导致的电阻均匀性低、测量精度不足的问题。

今年以来安培龙新获得专利授权5个,较去年同期增加了400%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了6261.65万元,同比增32.1%。

通过天眼查大数据分析,深圳安培龙科技股份有限公司共对外投资了8家企业,参与招投标项目25次;财产线索方面有商标信息10条,专利信息103条,著作权信息1条;此外企业还拥有行政许可50个。

数据来源:天眼查APP

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