微导纳米获得发明专利授权：“喷淋板及处理装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项发明专利授权，专利名为“喷淋板及处理装置”，专利申请号为CN202211612666.3，授权日为2025年6月24日。

专利摘要：本发明涉及一种喷淋板及处理装置，喷淋板包括板体，板体内形成有气体分配系统。气体分配系统包括主进气通道、过渡通道及喷淋通道。工艺气体先由主进气通道进入板体的内部，再经过过渡通道中转后进入喷淋通道，最终由喷淋孔从出气面导入处理腔体内。过渡通道能够起到缓冲作用，避免喷淋通道内的气压直接受到主进气通道内气压波动的影响，故喷淋通道内的气压能够保持较好的一致性。因此，经过过渡通道中转后，从出气面的各区域喷出的气流量也更均衡，从而能够提升工艺气体在处理腔体内分布的均匀性。此外，本发明还提供一种喷淋方法。

今年以来微导纳米新获得专利授权37个，较去年同期增加了23.33%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

通过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目46次；财产线索方面有商标信息112条，专利信息507条，著作权信息20条；此外企业还拥有行政许可68个。

数据来源：天眼查APP

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