证券之星消息，根据天眼查APP数据显示屹唐股份（688729）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于ICP源的冷却屏蔽体”，专利申请号为CN202111571118.6，授权日为2025年6月6日。
专利摘要：本公开提供了包括等离子体室和感应耦合的等离子体源的等离子体处理设备或系统。所述屏蔽装置被设置在等离子体室和感应耦合的等离子体源之间。屏蔽装置包括顶环形部分、底环形部分和多个热垫，所述热垫通过一个或多个保持构件被接合到顶环形部分和/或底环形部分。所述一个或多个保持构件提供压缩力以抵靠介电壁的外表面固定一个或多个热垫。多个热垫被配置为调节从介电壁到相应热垫的热通量。本公开还公开了处理工件的方法。
今年以来屹唐股份新获得专利授权4个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7.17亿元，同比增17.88%。
数据来源：天眼查APP
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