上海新阳获得发明专利授权：“晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽”_股票频道

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示上海新阳（300236）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽”，专利申请号为CN201911332461.8，授权日为2025年6月13日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，包括供放置晶圆的放置架机构、第一驱动机构以及第二驱动机构，所述放置架机构与第一驱动机构传动连接进而所述放置架机构整体可沿所述第一驱动机构的输出轴旋转以供甩干，所述放置架机构自身相对所述输出轴的轴向方向可调节摆转地设置，所述放置架机构与所述第二驱动机构控制连接进而通过所述第二驱动机构控制定位所述放置架机构的摆转位置。本发明所提供的晶圆湿制程设备用晶圆旋转甩干槽，其结构精巧，方便操作，通过可调节摆转的放置架实现晶圆的垂直旋转甩干以及水平旋转甩干工作。

今年以来上海新阳新获得专利授权7个，较去年同期减少了77.42%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.2亿元，同比增48.02%。