首页 - 股票 - 公司新闻 - 正文

微导纳米获得实用新型专利授权：“一种反应装置”

来源：证券之星企业动态 2025-06-10 02:58:13

涉企侵权信息举报专区

关注证券之星官方微博：

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种反应装置”，专利申请号为CN202422010019.6，授权日为2025年6月10日。

专利摘要：本申请公开了一种反应装置，该反应装置的第一法兰上设置有保护气通道，在向反应腔室内部通入反应气体对硅片进行工艺时，可以同步向第一端盖一侧通入保护气，保护气的气压可以略大于反应气体在第一端盖位置的气压，保护气可以在第一端盖附近区域形成微正压，既能够防止反应气体扩散到第一端盖附近，又不会过度扩散影响反应腔室中硅片放置区域，既可以保护炉门及炉口金属密封部件，又可以提高加工后硅片的质量。

今年以来微导纳米新获得专利授权34个，较去年同期增加了17.24%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.67亿元，同比增50.78%。

数据来源：天眼查APP

以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。

证券之星微信

扫描二维码

证券之星微信

相关股票：

好投资评级：

好价格评级：

证券之星估值分析提示微导纳米行业内竞争力的护城河良好，盈利能力较差，营收成长性一般，综合基本面各维度看，股价偏高。更多>>

精彩推荐

内容精选

下载证券之星

郑重声明：以上内容与证券之星立场无关。证券之星发布此内容的目的在于传播更多信息，证券之星对其观点、判断保持中立，不保证该内容（包括但不限于文字、数据及图表）全部或者部分内容的准确性、真实性、完整性、有效性、及时性、原创性等。相关内容不对各位读者构成任何投资建议，据此操作，风险自担。股市有风险，投资需谨慎。如对该内容存在异议，或发现违法及不良信息，请发送邮件至jubao@stockstar.com，我们将安排核实处理。如该文标记为算法生成，算法公示请见网信算备310104345710301240019号。

网站导航 | 公司简介 | 法律声明 | 诚聘英才 | 征稿启事 | 联系我们 | 广告服务 | 举报专区

欢迎访问证券之星！请点此与我们联系版权所有： Copyright © 1996-年