证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆加工方法和晶圆加工装置”，专利申请号为CN202411959834.5，授权日为2025年5月13日。
专利摘要：本发明涉及晶圆加工方法和晶圆加工装置。晶圆取片方法用于从真空吸盘夹取晶圆，其中，所述方法包括以下步骤：步骤I：使用机械手平行于所述晶圆与所述真空吸盘的接触面移动所述晶圆，以减小所述晶圆与所述真空吸盘之间的水膜的面积；步骤II：使所述晶圆远离所述真空吸盘，断开水膜；步骤III：取走晶圆。本发明在从真空吸盘夹取晶圆时有效减少了水膜张力，有助于保护抛光机械手及晶圆。
今年以来华海清科新获得专利授权33个，较去年同期增加了153.85%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.82亿元，同比增25.76%。
数据来源：天眼查APP
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