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敏芯股份获得实用新型专利授权：“MEMS芯片和麦克风”

来源：证券之星企业动态 2025-04-25 04:07:15

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“MEMS芯片和麦克风”，专利申请号为CN202421642286.9，授权日为2025年4月25日。

专利摘要：本实用新型公开了一种MEMS芯片和麦克风，MEMS芯片包括背极板，背极板包括：导电层、电极和牺牲结构；所述电极和所述牺牲结构设置于所述导电层，所述牺牲结构和所述电极之间设置有防护结构，所述牺牲结构具有导电性，以使所述导电层位于所述牺牲结构下部位的耐腐蚀性小于所述导电层位于所述电极下部位的耐腐蚀性。本实用新型所提供的技术方案能够解决现有技术中在腐蚀空腔结构过程中，释放工艺的释放溶液会沿着焊线连接点的边界腐蚀下边的导电层，导致导电层断裂，破坏焊线连接点与导电层之间的电性连接的技术问题。

今年以来敏芯股份新获得专利授权22个，较去年同期减少了4.35%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。

数据来源：天眼查APP

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