证券之星消息，根据天眼查APP数据显示兴福电子（688545）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种氧化硅高选择性蚀刻液”，专利申请号为CN202211572581.7，授权日为2025年4月22日。
专利摘要：本发明提供了一种氧化硅高选择性蚀刻液，该蚀刻液按质量百分数计，包括以下成分：1?6%的氢氟酸、10?30%的氟化铵、0.01?0.1%的活性剂，余量为超纯水；其中活性剂为有机胺类化合物与含磷酸基的化合物的混合物，有机胺类化合物优选长碳链有机胺。通过活性剂的复配使用，可以更加高效地抑制金属层地蚀刻，蚀刻选择比可以高于20；同时该蚀刻液可以快速浸润到氧化硅深孔结构中，将深孔中的氧化硅蚀刻完全，满足工艺的要求。
今年以来兴福电子新获得专利授权12个。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7692.3万元，同比增35.52%。
数据来源：天眼查APP
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