证券之星消息,根据天眼查APP数据显示罗博特科(300757)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“适用于硅片传输的吸盘及传输装置”,专利申请号为CN202421616441.X,授权日为2025年4月22日。
专利摘要:本实用新型公开了一种适用于硅片传输的吸盘,依次包括顶板、中板和底板,所述顶板、中板和底板形成吸附腔,所述顶板上设置有用于支撑硅片边缘(棱边)的垫板,所述顶板对应所述垫板开设有吸附口,所述吸附口贯穿所述顶板的厚度方向并连通所述吸附腔,所述吸附腔具有抽气口,所述抽气口与负压机构连通。本实用新型的吸盘,通过设置用于支撑硅片棱边的垫板,避免吸盘接触硅片的工艺面,同时结合与负压机构连通的吸附腔和抽气口,对硅片进行有效的无接触吸附。
今年以来罗博特科新获得专利授权13个,较去年同期减少了27.78%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4519.99万元,同比增15.89%。
数据来源:天眼查APP
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