证券之星消息，根据天眼查APP数据显示苏大维格（300331）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种光刻设备及光刻方法”，专利申请号为CN202010269164.X，授权日为2025年4月22日。
专利摘要：本发明公开了一种光刻设备，包括激光输出装置、光路选择装置、检测模块和光刻模块，所述激光输出装置发射激光至所述光路选择装置，所述光路选择装置选择将激光反射至所述光刻模块或所述检测模块。本发明还公开了一种光刻方法，利用上述光刻设备进行光刻。通过所述光路选择装置选择将激光反射至所述光刻模块或所述检测模块，以使光刻设备能实时检测曝光能量，保证了光刻效果，提高了光刻效率，提升了产品的良品率。
今年以来苏大维格新获得专利授权20个，较去年同期增加了300%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6693.39万元，同比增11.68%。
数据来源：天眼查APP
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