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罗博特科获得实用新型专利授权:“适用于硅片的取片装置”

来源:证券之星企业动态 2025-04-19 03:43:38
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示罗博特科(300757)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“适用于硅片的取片装置”,专利申请号为CN202421618034.2,授权日为2025年4月18日。

专利摘要:本实用新型公开了一种适用于硅片的取片装置,包括托杆、用于带动所述托杆进行移动的移动机构,所述托杆包括托杆本体和开设在所述托杆本体上的容纳槽,所述容纳槽具有底面、位于所述底面两侧的斜面,所述斜面由下至上向远离所述底面的一侧倾斜;两个所述斜面之间的最小间距小于所述硅片的长度或宽度,两个所述斜面之间的最大距离大于所述硅片的长度或宽度,硅片位于所述托杆上时,所述硅片的边缘与所述斜面接触。本实用新型的适用于硅片的取片装置,通过采用特殊结构的托杆,使得在取放硅片的时候,硅片的边缘抵触在斜面上,而硅片的正面或背面不会接触到容纳槽的底部,避免了硅片的工艺面收到污染和损伤。

今年以来罗博特科新获得专利授权11个,较去年同期减少了38.89%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了4519.99万元,同比增15.89%。

数据来源:天眼查APP

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