华海清科获得发明专利授权：“用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法”，专利申请号为CN202310505303.8，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本公开提供一种用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪及测量方法，其中，测量方法用于晶圆金属薄膜厚度的测量仪。测量仪包括：承载盘，用于承载晶圆，其中，晶圆的上表面覆盖金属薄膜；电涡流传感器，设置在承载盘的上方，配置成利用涡流效应在晶圆的金属薄膜内激发涡流磁场，并且检测涡流磁场的强度以产生对应的输出信号；以及测距传感器，设置在承载盘的上方，用于测量电涡流传感器距离晶圆的提离高度。测量方法包括：在承载盘承载待检测晶圆时，分别获取电涡流传感器产生的目标输出信号以及测距传感器测量到的目标提离高度；以及根据目标输出信号以及目标提离高度确定待检测晶圆的金属薄膜的厚度。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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