华海清科获得发明专利授权：“晶圆擦洗设备、擦洗系统、抛光设备及晶圆清洗方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆擦洗设备、擦洗系统、抛光设备及晶圆清洗方法”，专利申请号为CN202411843414.0，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本申请实施例提供了一种晶圆擦洗设备、擦洗系统、抛光设备及晶圆清洗方法，其中晶圆擦洗设备包括：电机、伸缩模块、压力传感器、擦洗刷和控制器；所述电机和所述伸缩模块分别与所述擦洗刷相连；所述控制器与所述伸缩模块和所述压力传感器电连接；其中，所述电机用于驱动所述擦洗刷旋转，以使所述擦洗刷对晶圆进行擦洗；所述压力传感器用于检测所述擦洗刷与所述伸缩模块之间的作用力，并将检测结果传输给所述控制器；所述控制器用于根据所述检测结果控制所述伸缩模块执行伸缩动作，使所述伸缩模块驱动所述擦洗刷沿旋转轴线方向运动，以调整所述擦洗刷与晶圆之间的作用力，可以保持擦洗刷向晶圆表面施加的压力恒定。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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