证券之星消息,根据天眼查APP数据显示敏芯股份(688286)新获得一项发明专利授权,专利名为“振动传感器封装结构”,专利申请号为CN202110312247.7,授权日为2025年4月15日。
专利摘要:公开了一种振动传感器封装结构,包括:基板;封装壳体,固定于所述基板的第一表面上,与所述基板之间形成第一腔体;MEMS芯片,固定于所述基板的第一表面上,并位于所述第一腔体内,所述MEMS具有第二腔体;其中,所述基板上设置有贯穿基板的第一气孔,所述封装壳体上设置有贯穿所述封装壳体的至少一个第二气孔;所述MEMS芯片的一侧经由第一腔体、第二气孔与外界连通,所述MEMS芯片的另一侧经由第二腔体、第一气孔与外界连通。本申请的振动传感器封装结构,通过在基板中形成第一气孔,在封装壳体中形成第二气孔,使得振膜上下两侧都可以接收空气中的声音信号,从而降低了空气中的声音信号给振动传感器带来的噪声干扰,提高了器件的良率和可靠性。
今年以来敏芯股份新获得专利授权20个,较去年同期减少了13.04%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了3922.75万元,同比增4.05%。
数据来源:天眼查APP
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