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华海清科获得发明专利授权：“晶圆边缘抛光方法和抛光装置”

来源：证券之星企业动态 2025-04-16 02:32:36

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示华海清科（688120）新获得一项发明专利授权，专利名为“晶圆边缘抛光方法和抛光装置”，专利申请号为CN202411959835.X，授权日为2025年4月15日。

专利摘要：本发明公开了一种晶圆边缘抛光方法和抛光装置，该晶圆边缘抛光装置包括：旋转机构，用于装载晶圆并带动晶圆绕中心轴线旋转；抛光头，其将抛光带抵压于晶圆的边缘部；所述抛光头沿水平方向移动和/或绕定点摆动，以在晶圆边缘形成环形开口；所述抛光头的至少部分为非平面结构，使得形成的环形开口无棱角结构。

今年以来华海清科新获得专利授权30个，较去年同期增加了130.77%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.71亿元，同比增23.19%。

数据来源：天眼查APP

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