捷佳伟创获得实用新型专利授权：“硅片载具支撑装置及硅片反应设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示捷佳伟创（300724）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“硅片载具支撑装置及硅片反应设备”，专利申请号为CN202421238250.4，授权日为2025年4月4日。

专利摘要：本实用新型公开了硅片载具支撑装置及应用其的硅片反应设备，硅片载具支撑装置包括第一固定法兰、第二固定法兰和至少一组支撑组件；支撑组件包括设置于第一固定法兰的第一支撑座、设置于第二固定法兰的第二支撑座和支撑杆，支撑杆一端与第一支撑座抵接或连接，支撑杆另一端与第二支撑座抵接或连接；第一支撑座内部设置有第一冷却液体通道和/或第二支撑座内部设置有第二冷却液体通道。使用时，能够往第一冷却液体通道和/或第二冷却液体通道内部通入冷却液体，使得第一支撑座和/或第二支撑座能够在高温的环境下保持相对较低的温度，因此第一支撑座和/或第二支撑座可以保持足够的刚性以支撑承托支撑杆。

今年以来捷佳伟创新获得专利授权36个，较去年同期增加了89.47%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.91亿元，同比增34.78%。

数据来源：天眼查APP

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