证券之星消息,根据天眼查APP数据显示正帆科技(688596)新获得一项发明专利授权,专利名为“电子特气的提纯方法”,专利申请号为CN202210963192.0,授权日为2025年4月1日。
专利摘要:本申请实施例提供一种电子特气的提纯方法,属于半导体制造气体提纯技术领域。电子特气为烷类气体,提纯方法包括吸附流程:采用碱处理改性和/或酸处理改性的多孔碳对电子特气原料气中的电子特气进行吸附,使得电子特气原料气中的电子特气和杂质气体分离。该提纯方法采用吸附提纯处理方式,能避免提纯能耗高、物料损失多的问题;其中使用到的改性多孔碳对电子特气有较好的吸附活性、吸附选择性和吸附容量,能有效地吸附电子特气实现电子特气和杂质气体的分离,从而能有效去除电子特气原料气中的多种杂质气体。
今年以来正帆科技新获得专利授权3个,与去年同期持平。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.56亿元,同比增85.9%。
数据来源:天眼查APP
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