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颀中科技获得发明专利授权:“晶圆盒与半导体生产设备”

来源:证券之星企业动态 2025-03-29 03:36:58
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示颀中科技(688352)新获得一项发明专利授权,专利名为“晶圆盒与半导体生产设备”,专利申请号为CN202111552490.2,授权日为2025年3月28日。

专利摘要:本申请公开一种晶圆盒与半导体生产设备,所述晶圆盒,包括底壁、顶壁、连接所述底壁与顶壁的支撑壁,所述晶圆盒形成有用以储放晶圆的储物腔,所述储物腔前侧设有供晶圆取放的开口;所述晶圆盒还包括枢转连接在所述支撑壁外侧的限位件、驱使所述限位件旋转的驱动杆及复位件;所述驱动杆用以在外力作用下驱使所述限位件沿背离所述开口的方向旋转,打开开口;所述复位件设置在所述限位件与支撑壁之间并用以驱使所述限位件朝向所述开口旋转,关闭开口。本申请晶圆盒及采用该晶圆盒的半导体生产设备能够有效避免晶圆掉落,减小物料损失,利于生产。

今年以来颀中科技新获得专利授权11个,较去年同期增加了450%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6821.45万元,同比增40.85%。

数据来源:天眼查APP

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