ST华微获得实用新型专利授权：“探针固定组件及测试仪”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示ST华微（600360）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“探针固定组件及测试仪”，专利申请号为CN202421061123.1，授权日为2025年3月25日。

专利摘要：本申请实施例提供一种探针固定组件及测试仪。所述探针固定组件包括探针，探针臂，气体管道；所述探针臂包括一用于与所述探针进行固定的探针臂固定端，所述气体管道至少部分沿所述探针臂的延伸方向与所述探针臂固定，所述气体管道包括第一端和第二端，所述气体管道的第一端设置有气体喷嘴，所述气体喷嘴靠近于所述探针臂固定端设置，所述气体管道的第二端设置有用于连接气泵的气体连接头。如此，通过上述结构，可以通过气体喷嘴为测试区域提供稳定的保护气体(比如氮气)，进而避免半导体芯片测试过程中探针尖端放电而导致的探针尖端氧化问题，保证测试结果的可靠性，有效提高半导体芯片的测试效率和产品良率。

今年以来ST华微新获得专利授权11个，较去年同期增加了22.22%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了6046.38万元，同比增13.15%。

数据来源：天眼查APP

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