证券之星消息,根据天眼查APP数据显示微导纳米(688147)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“基片扩散装置”,专利申请号为CN202420267325.5,授权日为2025年3月25日。
专利摘要:本申请公开了一种基片扩散装置,包括:炉体,包括相对的第一端和第二端,炉体形成有炉体腔;基片放置区,设置于炉体腔;进气管,一端设置有扩口部,扩口部从第一端部分或全部伸入炉体腔并指向基片放置区,扩口部的横截面沿靠近基片放置区的方向逐渐增大。本申请基片扩散装置能够提升扩散气体发散性能,进而提升基片放置区待加工件方阻均匀性。
今年以来微导纳米新获得专利授权19个,较去年同期增加了18.75%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元,同比增88.99%。
数据来源:天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理,由智能算法生成(网信算备310104345710301240019号),不构成投资建议。