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微导纳米获得实用新型专利授权：“基片扩散装置”

来源：证券之星企业动态 2025-03-25 02:59:08

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示微导纳米（688147）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“基片扩散装置”，专利申请号为CN202420267325.5，授权日为2025年3月25日。

专利摘要：本申请公开了一种基片扩散装置，包括：炉体，包括相对的第一端和第二端，炉体形成有炉体腔；基片放置区，设置于炉体腔；进气管，一端设置有扩口部，扩口部从第一端部分或全部伸入炉体腔并指向基片放置区，扩口部的横截面沿靠近基片放置区的方向逐渐增大。本申请基片扩散装置能够提升扩散气体发散性能，进而提升基片放置区待加工件方阻均匀性。

今年以来微导纳米新获得专利授权19个，较去年同期增加了18.75%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.21亿元，同比增88.99%。

数据来源：天眼查APP

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