光峰科技获得实用新型专利授权：“光栅制备装置”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示光峰科技（688007）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“光栅制备装置”，专利申请号为CN202420087520.X，授权日为2025年3月7日。

专利摘要：本申请公开了一种光栅制备装置，涉及光学技术领域，包括：光源模块，光源模块用于出射准直光束；光栅掩膜，设置在准直光束的输出方向上，光栅掩膜用于使入射于其上的准直光束发生衍射，形成用于出射至基板上的0级衍射光束、正1级衍射光束以及负1级衍射光束，并在基板上形成两种不同图案化的干涉曝光场，以在基板上叠加形成具有齿状凹陷的光栅结构。光栅掩膜基于垂直入射的准直光束衍射形成0级衍射光束、正1级衍射光束以及负1级衍射光束，三束衍射光束在基板上相互干涉形成两种不同图案化的干涉曝光场在基板上叠加时易于得到具有齿状凹陷的光栅结构，提升了光栅制备的工艺精度，并降低了光栅制备的工艺复杂度。

今年以来光峰科技新获得专利授权48个，较去年同期增加了152.63%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了1.12亿元，同比减11.7%。

数据来源：天眼查APP

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