大族激光获得实用新型专利授权：“原子层沉积的喷淋密封结构及原子层沉积设备”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示大族激光（002008）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“原子层沉积的喷淋密封结构及原子层沉积设备”，专利申请号为CN202323537745.5，授权日为2025年3月18日。

专利摘要：本申请提供了一种原子层沉积的喷淋密封结构及原子层沉积设备，原子层沉积的喷淋密封结构包括：内腔门板，设置在外腔门板；喷淋板，设置于内腔门板背离外腔门板的一侧，喷淋板与内腔门板具有间距，喷淋板设有第一进气；内腔法兰，套装于内腔体的门口，内腔法兰设有与内腔门板抵接的第一抵接部和用于与喷淋板的抵接的第二抵接部，内腔法兰的外侧表面设有第二进气口，第二抵接部设有与第二进气口连通的出气口；其中，当内腔门板与第一抵接部抵接时，喷淋板与第二抵接部抵接且出气口与第一进气口对接连通。本申请实施例的原子层沉积的喷淋密封结构，能够避免在内炉门口积累粉末而造成炉门关闭不严实、真空度异常，延长设备保养周期间隔。

今年以来大族激光新获得专利授权85个，较去年同期增加了34.92%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了8.01亿元，同比增4.95%。

数据来源：天眼查APP

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