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颀中科技获得实用新型专利授权:“晶圆对中组件及具有其的对中设备”

来源:证券之星企业动态 2025-03-18 02:56:38
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证券之星消息,根据天眼查APP数据显示颀中科技(688352)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“晶圆对中组件及具有其的对中设备”,专利申请号为CN202420477326.2,授权日为2025年3月18日。

专利摘要:一种晶圆对中组件及具有其的对中设备,所述晶圆对中组件包括:对中盘,包括位于其中部的镂空部、朝向所述镂空部的若干对中壁,不同所述对中壁的半径不同;平移机构,驱动所述子对中盘居中或向边缘移动;固定机构,用以吸附固定晶圆;升降机构,驱动所述固定机构在所述镂空部处上下移动。本实用新型的晶圆对中组件,通过设置有多个尺寸的对中壁,可以对不同尺寸的晶圆进行对中,兼容性高。

今年以来颀中科技新获得专利授权10个,较去年同期增加了400%。结合公司2024年中报财务数据,2024上半年公司在研发方面投入了6821.45万元,同比增40.85%。

数据来源:天眼查APP

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