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敏芯股份获得实用新型专利授权：“一种倒装式MEMS力传感器芯片”

来源：证券之星企业动态 2025-03-15 03:26:54

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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示敏芯股份（688286）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种倒装式MEMS力传感器芯片”，专利申请号为CN202420869932.9，授权日为2025年3月14日。

专利摘要：本申请公开了一种倒装式MEMS力传感器芯片，其特征在于，所述倒装式MEMS力传感器芯片包括受力层、敏感膜和支撑框，所述受力层和所述敏感膜相对的两面与所述支撑框上下表面连接；在所述受力层和所述敏感膜与所述支撑框之间形成的容纳空间内设置有至少一个力传递柱，所述至少一个力传递柱与所述敏感膜和所述受力层相对的两面连接。实现了芯片的固定以及电信号引出面与受力面的分离，提高了器件的可靠性。

今年以来敏芯股份新获得专利授权16个，较去年同期减少了11.11%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了3922.75万元，同比增4.05%。

数据来源：天眼查APP

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